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              MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

                MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

              MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑是一種具備自動檢測能力、xx率、全水溶性的干膜光阻劑,可使用于內層和外層的應用。本產品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍制程中均有突出表現。

              特色及優點

              高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距

              xx的貼合度-高良率

              高附著力-高良率

              xx的圖像顯示對比,具備自動光學檢測能力

              特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2

              項目
              單位
              MA312
              MA315
              備注
              厚度
              μm
              30
              38

              感度*1
              mj/cm2
              25
              30

              最短顯影時間
              sec.
              20
              25

              附著力*1*2(L/S=X/250)
              μm
              25
              30

              解析度*1*2(L/S=X/X)
              μm
              25
              30

              蓋孔孔徑
              μm
              //
              6.5

              *1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

              *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

              *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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